无尘烤箱干燥led光电的技术原理
LED芯片在封装前需彻底去除表面水分，传统热风干燥易引入微粒污染。无尘烤箱通过HEPA过滤系统维持ISO 5级洁净度，结合远红外辐射干燥技术实现零接触脱水。
光学干燥原理：特定波长的红外光源（850-950nm）穿透环氧树脂封装材料，被硅基板选择性吸收产生分子振动，水分蒸发速率较常规加热提升40%。
温控系统：分布式红外传感器实时监测晶圆表面温度，PID算法动态调节辐射强度，保持65±2℃的工艺窗口，避免材料热应力损伤。
光电协同效应：集成UV-A波段（365nm）光源在干燥同时激活芯片表面光催化涂层，分解有机污染物，表面能降低至18dyn/cm以下。
能效优化：反射式光路设计使辐射利用率达78%，配合余热回收系统，较传统工艺节能32%。
质量控制：在线椭偏仪检测干燥后膜层折射率变化（Δn≤0.003），确保后续焊接工序的可靠性。