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志圣氮气烤箱为半导体封装提供三重保障

2026/2/14 7:17:41
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志昇氮气烤箱通过创新惰性气氛控制技术,为半导体封装提供三重关键保障:其一,彻底隔绝高温氧化风险。在芯片固晶、焊线及塑封阶段,设备注入高纯度氮气置换氧气,使腔体氧含量降至50ppm以下,消除金属焊盘与键合线高温氧化导致的虚焊断裂问题。其二,实现微米级热场控制。采用多区PID算法与涡流风道设计,使150℃-250℃工艺区间内温差稳定在±1.5℃,避免因温度波动引发的环氧树脂固化不均、翘曲分层等缺陷。其三,突破湿敏器件处理瓶颈。在MSD元件烘烤中,氮气环境可将露点控制在-40℃以下,使IC内部湿度0.5小时内降至1000ppm安全阈值,防止回流焊时爆米花效应。经头部封测厂验证,该技术使QFN封装良率提升3.2%,BGA焊球空洞率下降至0.8%,同时减少贵金属镀层厚度10%,显著降低材料成本。
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